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              高功6/8/12寸复合减薄è{å?/h1>

              高功6/8/12寸复合减薄è{収ͼšZCS-400QD01åž?b>气静压电主èáu

              1、主要技术指æ ?/span>


              2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

              ①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥500N/um

              ②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥3500N

              ③ã€?动态额定速度范围内振åŠ?Vâ‰?.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥200N/um

              ④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2600N

              ⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 240KG

               

              3、特性曲¾U?nbsp;


              4、外形图

              相关标签:直驱­‘…精密气静压转台,高功6/8/12寸复合减薄è{åîC­hæ ?/a>,高功6/8/12寸复合减薄è{台批å?/a>,

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