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              8寸晶圆减薄è{å?/h1>

              8寸晶圆减薄è{å?/a>åQšZCS-260QD0045åž?b>气静压电主èáu


              1、主要技术指æ ?/span>


              2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

              ①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥350N/um

              ②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥2500N

              ③ã€?动态全速度范围内振åŠ?V â‰?0.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥125N/um

              ④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2500N

              ⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 130KG

               

              3、特性曲¾U?nbsp;



              4、外形图


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